발행일 : 2011년 01월 01일

ISBN : 9780470466346

가격 : 58,000원

저자 : Ki Bang Lee

출판사 : Wiley-IEEE Press

페이지 : 667면

제본형태 : Hardback

● The building blocks of MEMS design through closed-form solutions   Microelectromechanical Systems, or MEMS, is the technology of very small systems; it is found in everything from inkjet printers and cars to cell phones, digital cameras, and medical equipment.
● This book describes the principles of MEMS via a unified approach and closed-form solutions to micromechanical problems, which have been recently developed by the author and go beyond what is available in other texts.
● The closed-form solutions allow the reader to easily understand the linear and nonlinear behaviors of MEMS and their design applications.
●   Beginning with an overview of MEMS, the opening chapter also presents dimensional analysis that provides basic dimensionless parameters existing in large- and small-scale worlds.
● The book then explains microfabrication, which presents knowledge on the common fabrication process to design realistic MEMS.
● From there, coverage includes:   -Statics/force and moment acting on mechanical structures in static equilibrium -Static behaviors of structures consisting of mechanical elements -Dynamic responses of the mechanical structures by the solving of linear as well as nonlinear governing equations -Fluid flow in MEMS and the evaluation of damping force acting on the moving structures -Basic equations of electromagnetics that govern the electrical behavior of MEMS -Combining the MEMS building blocks to form actuators and sensors for a specific purpose   All chapters from first to last use a unified approach in which equations in previous chapters are used in the derivations of closed-form solutions in later chapters.
● This helps readers to easily understand the problems to be solved and the derived solutions.
● In addition, theoretical models for the elements and systems in the later chapters are provided, and solutions for the static and dynamic responses are obtained in closed-forms.
●   This book is designed for senior or graduate students in electrical and mechanical engineering, researchers in MEMS, and engineers from industry.
● It is ideal for radio frequency/electronics/sensor specialists who, for design purposes, would like to forego numerical nonlinear mechanical simulations.
● The closed-form solution approach will also appeal to device designers interested in performing large-scale parametric analysis. 

● 닫힌 형식 솔루션을 사용하여 MEMS및 그 설계 응용 프로그램의 선형 및 비선형 거동을 쉽게 이해할 수 있다.
● MEMS에 대한 개관을 시작으로, 크고 작은 세상에 존재하는 기본적인 치수 매개 변수를 제공하는 첫 장에서는 차원 분석도 제시한다.
● 그 책은 그리고 나서 현실적인 MEMS를 설계하기 위한 일반적인 제작 과정에 대한 지식을 제공하는 미세화에 대해 설명한다.
● 이것은 독자들이 해결해야 할 문제와 파생된 해결책을 쉽게 이해하도록 돕는다.
● 추가로, 후기 챕터의 요소와 시스템에 대한 이론적 모델이 제공되며, 정적 및 동적 반응에 대한 해결책은 폐쇄형 형태로 얻는다.
● 이 책은 전기 및 기계 공학과, MEMS연구원 및 산업 공학자의 4학년 또는 대학원생을 위해 설계되었다.
● 설계 목적으로 숫자 비선형 기계적 시뮬레이션을 포기하고 싶어 하는 무선 주파수 전자 공학/전자 센서 전문가에게는 이상적이다.
● 폐쇄형 솔루션 접근 방식은 대규모 파라미터 분석에 관심이 있는 기기 설계자에게도 매력적일 것이다.